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SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率，吸光率及膜厚的測量。 |
集成的精確測量系統
SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成，并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達0.005%。
SpecEl可通過電話問價。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執行你的實驗。
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SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度，折射率及吸光率。 |
配置說明
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波長范圍: |
380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
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光學分辨率: |
4.0 nm FWHM |
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測量精度: |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
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入射角: |
70° |
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膜厚: |
單透明膜1-5000 nm |
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光點尺寸: |
2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
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采樣時間: |
3-15s (最小) |
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動態記錄: |
3 seconds |
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機械公差 (height): |
+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
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膜層數: |
至多32層 |
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參考: |
不用 |
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